远航工业炉

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远航工业炉大型气相沉积中频高温炉解决方案

远航工业炉大型气相沉积中频高温炉解决方案

大型中频气相沉积由于其沉积时间长,使用温度高等特点,在使用过程中挥发特更容易沉积于炉体内部及主要是感应线圈上面,形成大量“焦油”致使感应线圈线圈出现短路、打火现象