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PI膜石墨化炉
产品简介
- 产品详情 ...
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|
单位 |
YH-GFL-R20/30 |
YH-GFL-R30/40 |
YH-GFL-R40*100 |
YH-GFL-R 50*100 |
YH-GFL-R60*160 |
YH-GFL-R 70*160 |
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坩埚有效容积（直径*高） |
mm |
Φ200*300 |
Φ300*400 |
Φ400*1000 |
Φ500*1000 |
Φ600*1600 |
Φ700*1600 |
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中频电源功率 |
Kw |
70 |
100 |
160 |
180 |
240 |
300 |
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中频电源频率 |
Hz |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
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最高工作温度 |
℃ |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
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极限真空度 |
Pa |
1.2*10-1 |
1.2*10-1 |
1.2*10-1 |
1.2*10-1 |
1.2*10-1 |
1.2*10-1 |
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压升率 |
Pa/h |
1.33 |
1.33 |
1.33 |
1.33 |
1.33 |
1.33 |
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恒温区温差 |
℃ |
±10 |
±10 |
±10 |
±10 |
±10 |
±10 |
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最高使用温度:3000℃ 常用温度:2850℃
工作气氛:真空置换Ar、N2保护(微正压)
温度测量:红外光学测温，测温范围1000-3200℃ 测温精度:0.3%
温度控制:PID智能程序控制（控温精度：±10℃）和手动控制
控制方式:PLC编程自动控制仪表实时记录
具备USB接口,可随时将记录的历史数据通过U盘转存到电脑,具备密码保护，输入密码才能导出，确保工艺保密性
发热方式:中频感应石墨坩埚发热
保护装置:全方位的水电气测控与报警
特有的感应线圈采用5次绝缘处理，彻底解决感应线圈或需要高温绝缘的应用问题，保证线圈在刚玉老化、开裂情况下仍能保持良好的绝缘性能，可有效防止线圈打火，电流泄漏等现象
